LED Endüstrisinde 1200 ° C Süreç Sıcaklıkları için Yüksek Sıcaklığa Dirençli Seramik Düzeler

LED Endüstrisinde 1200 ° C Süreç Sıcaklıkları için Yüksek Sıcaklığa Dirençli Seramik Düzeler

Özellikle LED üretim süreçleri için geliştirilen bu ürün, hassas gaz basıncı sinterleme yoluyla% 99.8 yüksek saflıklı silikon nitrit (Si3N4) kullanarak üretilir.Çok yüksek temizlik özellikleri, yüksek sıcaklık direnci ve korozyon direnci, sıkı MOCVD ekipman gereksinimlerini karşılamak için.

LED Üretim Uygulamaları

• MOCVD ekipmanları: MO kaynağı ve NH3 gazının kesin dağılımı

• Epitaxial büyüme: Reaksiyon odalarında eşit gaz enjeksiyonu

• Çip imalatı: Koruyucu gaz dağıtım sistemleri

• Paketleme işlemi: Fosfor püskürtme atomlaştırma

• Deneme ekipmanları: Optik denetim gazı kontrolü

LED Endüstrisi Avantajları

✓ Ultra yüksek temizlik: Metal iyon içeriği <1ppm
✓ Yüksek sıcaklığa dayanıklı: 1200°C işlem sıcaklıklarına dayanabilir
✓ Sıfır gaz kirliliği: Hiç parçacık emisyonu yok
✓ Kesin bir akış kontrolü: ± 1% akış doğruluğu
✓ Uzun ömürlü: 5000'den fazla ısı döngüsüne dayanır

LED-Özel Parametreler

Temiz Üretim Süreci

1. Malzeme hazırlığı:

   • Nano toz (D50≤0.3μm)

   • Tozsuz top frezeleme (sınıf 10 temiz oda)

2. Kalıplandırma ve sinterleme:

   • Isostatik baskı (200MPa)

   • Ultra temiz sinterleme (sınıf 100 ortamı)

3. İşlem sonrası:

   • Plazma temizliği (yüzey dekontaminasyonu)

   • Ultrasonik DI su temizliği

4. Paketleme:

   • Çifte vakum ambalajı

   • ISO Sınıf 4 temiz çantalar

Kullanım Kılavuzları

Kurulum: Sınıf 100 temiz oda çalışması gereklidir.
️ Gaz kontrolü: 99.999% yüksek saflıkta gaz kullanın
️Sıcaklık yönetimi: Isıtma hızı ≤5°C/min
️ Bakım: Her 500 saatte bir Helium sızıntısı testi

Özel Hizmetler

• Genişletilmiş garanti: 18 ay

• Temizlik testi: Serbest parçacık emisyonu testi

• Hızlı yanıt: 12 saatlik teknik destek

• Süreç optimizasyonu: Gaz akışı alanı simülasyonu

Sık Sorulan Sorular

S: MO kaynağı teslimat saflığını nasıl garanti edersiniz?
A: Üçlü koruma:
1 Yüzey Si pasifikasyonu
2 Sınıf 100 Temiz ambalaj
3 Kurulum öncesi plazma temizliği

S: Düzelenin tıkanması?
A: Önerilen:
• 200W ultrasonik + DI su temizliği
• Mekanik çubuk temizliği yapılmıyor
• Profesyonel temizlik hizmeti

S: Farklı epitaksyal katmanlarla uyumluluk?
A: Özel seçenekler:

• Çok delikli dizi yapıları

• Kademeli delme boyutu tasarımları

• Özel açı yapılandırmaları

•