İzole Etkinliği Alümina Keramik Temeller Hassas Ölçme Ekipmanı ve Endüstriyel Denetim

İzole Etkinliği Alümina Keramik Temeller Hassas Ölçme Ekipmanı ve Endüstriyel Denetim

Bu alümina seramik destek tabanları, özellikle yarı iletken, optik ve hassas ölçüm ekipmanları için tasarlanmış% 99.6 yüksek saflıklı Al2O3 malzemesi kullanılarak üretilir.Ultra yüksek düzlüğü olan 0.01mm/m ve 7.2×10−6/°C'lik bir termal genişleme katsayısı ile, ürünler aşırı sıcaklıklarda (-60°C~1500°C) ve vakum ortamlarında (≤10−8Pa) olağanüstü boyut sabitliğini korur.

Temel Uygulama Alanları

• Yarım iletken ekipmanları: Litografi levha aşamaları, kazma reaktör odası tabanları

• Kesin Optik: Lazer interferometre referans platformları, uzay teleskopu ayna montajları

• Analiz Araçları: Elektron mikroskop örnekleme aşamaları, kütle spektrometre iyon kaynağı destekleri

• Endüstriyel Denetim: CMM makine tabanları, yuvarlaklık denetleyicisi çalgı makineleri

• Yeni Enerji: Yakıt hücresi yığın destekleri, fotovoltaik kaplama ekipman taşıyıcıları

Performans Avantaj Matrisi

Teknik özellikler

Kesinlik Üretim Süreci

1. Toz işleme: 0,1μm yüksek saflıkta toz sprey granülasyonu ile

2. Kalıplaşma süreci: Isostatik presleme (300MPa) CNC yeşil işleme ile birleştirilmiş

3. Sinterleme Teknolojisi: Hidrojen atmosferinde 1700°C'de eğri sinterleme

4. Hassas İşleme:

   • 5 eksenlik öğütme (±0,002mm)

   • Magnetorheolojik cilalama (yüzey doğruluğu λ/20@632.8nm)

5. Temiz Oda İşleme: 100 sınıf temiz odada montaj tamamlandı

6. Tam Denetim: Lazer interferometre + CMM tam boyut kontrolü

Kurulum Rehberleri

• Kurulum Gereksinimleri:
  ✓ Döner anahtarı kullanın (önerilen değer 1.5±0.2N·m)
  ✓ Temiz oda aletlerini kullanın
  ✓ Önerilen termal eşleşme ön ayarlama (sıcaklık eğimi <2°C/min)

• Çevresel Sınırlar:
  Hidrroflorik asitle temas etmekten kaçının.
  ️ Sıcak şoklardan kaçının >200°C/min
  ️ Sürekli > 1600°C oksidasyon ortamları için uygun değildir

Hizmet Bağlılığı

• Teknik Destek: Ücretsiz FEA stres analizi

• Hızlı Cevap: 72 saatlik hızlandırılmış servis

• İzlenebilirlik Yönetimi: 10 yıllık tam üretim kayıtları

• Sertifikasyon desteği: Sağlanan SEMI/FDA/ISO sertifikasyon belgeleri

Sık Sorulan Sorular

S: Silikon karbid bileşenleriyle termal eşleşmeyi nasıl sağlayabilirsiniz?
A: CTE eğimli geçiş tasarımı mevcut (düzenebilir 7.2-4.5×10−6/°C)

S: En fazla işlenebilir boyut?
A: Mevcut teknik limit 500×500×100mm (özel aletler gereklidir)

S: İletici modifikasyon destekleniyor mu?
A: Yüzey direnci 104-1010Ω ile özelleştirilebilir antistatik versiyonlar

S: Wafer düzeyinde temizlik nasıl garanti edilir?
A: VHP (buharlaşmış hidrojen peroksit) ile son sterilizasyon