3D Baskılı Seramik Robotik Kollar, Endüstriyel Uygulamalar İçin Eşsiz Hassasiyet ve Dayanıklılık Sunuyor

3D basılı alümina seramik robot kolu, özel olarak tasarlanmış yüksek performanslı bir otomasyon çözümüdür.yarı iletken üretimi, wafer işleme ve otomatik üretim. KullanmakDLP/SLA 3D baskı teknolojisi, tek bir bütünleşik bileşen olarak üretilir.99% 9 yüksek saflıkta alümina seramik (Al2O3)Olağanüstü özelliklere sahip.ultra yüksek sertlik, termal direnç, korozyon direnci ve düşük termal genişleme katsayısı, bu idealvakum ortamları, sert kimyasal koşullar ve yüksek sıcaklıklı süreçler,yüksek temizlik ve istikrarWafer işleme uygulamalarında.

Ana Uygulamalar

✅Yarım iletken levha işleme: Vakum tutma, konumlandırma ve transfer12 inçlik plakalar
✅Çizme ve deppozisyon ekipmanları: PVD/CVD işlemleri için plazma dayanıklı
✅Yüksek sıcaklıkta işlemler: Sürekli çalışma300°C+
✅Otomatik üretim hatları: Daha yüksek verimlilik için kol ucunda kullanılan aletlerle uyumludur

Rekabetçi Avantajlar

Teknik özellikler

• Maddi Saflık: ≥99.9% Al2O3

• Baskı Teknolojisi: DLP fotopolimerizasyon (± 20μm hassasiyet)

• Faydalı Yük Kapasitesi: 5kg (standart) / 10kg (ağır görevli)

• Tekrarlanabilirlik:±0.01mm konumlandırma doğruluğu

• Sıcaklık aralığı: -50°C ila 300°C

• Yüzey Kabalığı: Ra≤0,1μm (0,05μm'e kadar cilalanabilir)

• Vakum uyumluluğu: Entegre hava kanalları (0.5μm filtrasyon)

Üretim süreci

1. 3 boyutlu modelleme: CAD tasarımı + wafer işleme yolu simülasyonu

2. Çamur Hazırlama: Nano-alümina + fotopolimer reçine karışımı (55-58% katı madde içeriği)

3. DLP Baskı: Katman katman sertleştirme (20μm kalınlığında)

4. Yüksek Hızlı Sinterleme: 1650°C yoğunlaşma (117-122% küçülme telafi)

5. Hassas İşleme: Lazer kesme + CNC öğütme (± 0.02mm düzlük)

6. Kalite Kontrolü: X-ışını kontrolü + sızıntı testi

Uygulama talimatları

- Evet.Önemli Notlar:

• İlk kullanımdan önce otoklav sterilize (121°C)

• Hidroflorik asit (HF) maruziyetinden kaçının.

• Aylık ortak denetimaşınma ve vakum bütünlüğü için

• Seramik son efektörler kullanınwafer hasarının önlenmesi için